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5月14日，科创半导体设备ETF华泰柏瑞基金（588710）最新份额为7.3亿份，较前一交易日增加了4600.0万份。当日资金净流入1.04亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为17.42亿元。该基金近一周净值上涨12.51%，近一个月净值上涨31.56%。

科创半导体设备ETF华泰柏瑞基金成立于2025年5月26日，基金经理为李沐阳，基金跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数，成立以来超额回报为-4.02%，近一个月超额回报为0.01%。最新披露的基金持仓数据显示，截止2026年3月31日，该基金第一大重仓股为拓荆科技（688072），持股占比为10.74%。

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